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更新時間：2026-03-09 
瀏覽次數(shù)：76本文將介紹日本納普森（Napson）公司生產(chǎn)的 EC-80P（便攜式） 電阻率與方塊電阻測量儀。這是一款利用**渦流法（Eddy Current Method）**進行非接觸、非破壞性測量的手持設(shè)備。
這款設(shè)備最的大的特點是**“非接觸"**，它不需要像傳統(tǒng)四探針法那樣刺破或接觸樣品表面，而是利用電磁感應(yīng)原理進行測量。
測量原理： 渦流法（Eddy Current）。探頭產(chǎn)生交變磁場，在導電樣品中感應(yīng)出渦流，通過檢測渦流對磁場的反作用來計算電阻。
主要優(yōu)勢：
非破壞性： 不損傷樣品表面，適合測量昂貴或易損材料。
便攜性： 手持式設(shè)計，可靈活移動，適用于現(xiàn)場或?qū)嶒炇摇?/p>
操作簡便： 通過JOG旋鈕設(shè)定條件，探頭可更換以適應(yīng)不同量程。
以下是該設(shè)備的核心技術(shù)參數(shù)，涵蓋了它能測什么以及測得有多準。
| 參數(shù)類別 | 詳細規(guī)格 | 備注 |
|---|---|---|
| 測量對象 | 半導體（硅、SiC）、新型材料（石墨烯、CNT）、導電薄膜（ITO）、化合物半導體等 | 適用范圍廣泛 |
| 適用尺寸 | 尺寸/形狀不限（需大于 20mmφ 且表面平整） | 探頭直徑為20mm |
| 電阻率范圍 | 1 mΩ·cm ～ 200 Ω·cm | 厚度500μm時 |
| 方塊電阻范圍 | 10 mΩ/□ ～ 3 kΩ/□ | 全探頭總范圍 |
| 設(shè)備尺寸 | 主機：255×275×95mm (4kg) 探頭：20mmφ×80mm | 便攜設(shè)計 |
為了覆蓋從極低到極的高阻值的材料，該設(shè)備支持更換不同類型的探頭。以下是文檔中列出的詳細分檔：
低阻探頭： 0.01 ～ 0.5 Ω/□ (對應(yīng) 0.001 ～ 0.05 Ω·cm)
中阻探頭： 0.5 ～ 10 Ω/□ (對應(yīng) 0.05 ～ 0.5 Ω·cm)
高阻探頭： 10 ～ 1,000 Ω/□ (對應(yīng) 0.5 ～ 60 Ω·cm)
超高阻探頭： 1,000 ～ 3,000 Ω/□ (對應(yīng) 60 ～ 200 Ω·cm)
專用探頭： 太陽能晶片專用 (5 ～ 500 Ω/□)
根據(jù)測量對象的分類，這款設(shè)備主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域：
半導體行業(yè)： 硅片、碳化硅（SiC）、砷化鎵（GaAs）等外延片的檢測。
新能源行業(yè)： 太陽能電池材料的評估。
新材料研發(fā)： 碳納米管、石墨烯、銀納米線等新型導電材料的特性分析。
顯示行業(yè)： ITO（氧化銦錫）導電薄膜的測量。
總結(jié)建議：如果你需要在不損壞樣品的前提下，快速檢測半導體晶圓或?qū)щ姳∧さ碾娮杼匦裕覙悠烦叽绱笥?0mm，這款便攜式渦流儀是一個非常合適的選擇。
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