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山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈

  • 產(chǎn)品型號:HPS-150 YP-150ID YP-250I
  • 更新時間:2026-04-13

簡要描述:山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈HPS-150 YP-150ID YP-250I


yamada-opt山田光學工業(yè)YAMADA KOGAKU高輝度鹵素光源裝置,主要應用于半導體晶圓及液晶基板加工過程中的最終表面檢查環(huán)節(jié),用于輔助檢測表面異物、劃痕、研磨不均、霧度及滑移等缺陷。

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山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈HPS-150 YP-150ID YP-250I

山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈HPS-150 YP-150ID YP-250I


高亮度鹵素光源設備

山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈






  • 這是一種光源設備,可通過使用400,000勒克斯(在30Φ處)或更高亮度的照明光源,對硅晶圓和玻璃表面的微小劃痕進行觀察與檢測。

  • 1. 樣品表面可實現(xiàn)超過400,000Lx的照明。

  • 2. 由于采用鹵素燈作為光源,色溫高、照度均勻性好,且照明穩(wěn)定清晰。

  • 3. 采用冷鏡后,熱量影響大幅降低至傳統(tǒng)鋁鏡的1/3。

  • 4. 通過兩級切換機構(gòu),可一鍵實現(xiàn)高亮度觀測與低亮度觀測。
    YP-150I ? ? ? ? ? ? 照度范圍:30mmφ
    YP-250I ? ? ? ? ? ? 照度范圍:60mmφ
    (對于YP-250I,可選擇螺旋槳風扇型和管道風扇型。)



山田光學晶圓表面宏觀劃痕異物可見光檢查燈



規(guī)格



YP-150IYP-250I
燈罩部門照射直徑30mmφ60mmφ
照明400,000勒克斯或以上
照射距離140毫米220毫米
二手燈泡帶雙色鏡的燈泡
燈泡類型名稱JCR15V150W(Ushio)ELC24V250W(OSRAM)
燈泡壽命35-50小時
色溫3,400K°
顏色白色
環(huán)境溫度0~40℃
冷卻方式強制風扇冷卻
連接帶12φ安裝軸帶20φ安裝軸
尺寸100(寬)×245(高)×116(深)毫米120(寬)×388(高)×130(深)毫米
重量約1.7千克約2.7千克


YP-150IYP-250I
電源部分電源交流100V 50/60Hz交流100V(200V) 50/60Hz
功耗約200瓦約350瓦
照明方式交流照明類型直流照明類型
光強調(diào)節(jié)電壓調(diào)節(jié)類型
總變化率?最大1%(針對輸入、漂移、溫度波動)
環(huán)境溫度0~40℃
冷卻方式自然冷卻強制風扇冷卻
尺寸140(寬)×94(高)×185(深)毫米135(寬)×72(高)×260(深)毫米
重量約2.4千克約2千克
其他輸入代碼:2.0米
輸出代碼:2.5米
腳踏開關(guān)
線纜長度:3.0米
輸入代碼:2.0米
輸出代碼:2.0米
(內(nèi)置軟啟動電路)
(內(nèi)置過流保護電路)
(帶數(shù)字儀表)



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